銅箔表面檢查系統
銅箔表面重大缺陷及周期性缺陷檢出,並將缺陷作分類統計。協助異常排除達到品質及量產並重，並可依據瑕疵類型進行製程改善及研發。
應用範圍
電解銅箔、壓延銅箔、FCCL、RCC銅箔、鋁箔等薄膜捲裝工業表面外觀檢測
檢測項目
針孔、銅屑、氧化、銹斑、墊傷、粒銅、刮傷、雜質、褶皺、結晶等
檢測方式
以高解析線性CCD進行高速動態捲裝製程檢測，以增加收益
檢測速度
線速最高可達100m/min
警示方式
異常影像顯示及喇叭音效或自動標籤紙粘貼警示
檢測精度
20μm(表面)、5μm(破孔)
AOI瑕疵不同精度比較圖
精度越高，瑕疵辨識率更佳，細節更清晰！
